蔡司扫描电镜Sigma系列：扫描电子显微镜的用途原来这么多

扫描电子显微镜是一种全自动的、非破坏性的显微分析系统，可针对无机材料和部分有机材料，迅速提供在统计学上可靠且可重复的矿物学、岩相学和冶金学数据，在采矿业，可用于矿产勘查、矿石表征和选矿工艺优化，在石油和天然气行业，钻屑和岩心样品的显微镜分析降低了风险，提高了采收率。煤炭工业中，该系统可用于对煤、煤粉和煤燃烧产物进行自动分析，以更好地了解煤的燃烧和废弃物的利用。

由于高能电子与材料的相互作用，在样品上产生各种信息，如二次电子、背反射电子、X射线、阴极发光、吸收电子和透射电子等。由于从样品中获得的各种信息的强度和分布与诸如表面形态、成分、晶体取向以及表面状态的一些物理性质(如电学性质、磁学性质等)，因此，通过接收和处理这些信息，可以获得表征样品形貌的扫描电子图像，或进行晶体学分析或成分分析。应用中，很多都集中在半导体器件和集成电路上。能详细检查设备工作时局部表面电压变化的实际情况。这是因为这种变化会带来图像对比度、焊接开裂和腐蚀等方面的变化。表面的细节或关系可以很容易地观察到。

它的电畴的观察是通过化学蚀刻样品的表面提前实现的。由于不同极性的畴被腐蚀的程度不同，可以使用腐蚀剂在铁电体表面形成不均匀的区域，以便在显微镜下观察。因此，可以预先对样品表面进行化学刻蚀，并利用扫描电子显微镜图像中的黑白对比度来确定不同取向的电畴结构。针对不同的铁电晶体，选择合适的刻蚀剂种类、浓度、刻蚀时间和刻蚀温度，可以得到良好的畴结构。观察到的PLZT材料的90°电畴。与其他设备的组合以实现多种分析功能。

扫描电镜的优点

(一) 能够直接观察样品表面结构(二) 样品制备简单，无需切割(三) 样品可以在样品室内进行三维平移和旋转，因此可以从各种角度对样品进行观察(四) 大景深，丰富的立体图像。扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大几百倍，比透射电子显微镜大几十倍。(五) 图像具有较宽的放大范围和相对较高的分辨率。可以放大十倍到几十万倍。基本涵盖了从放大镜、光学显微镜到透射电子显微镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，可达3nm。(六) 电子束对样品的损伤和污染较小。(七) 在观察形貌的同时，样品发出的其他信号也可用于微区成分分析

蔡司扫描电镜Sigma系列

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审核编辑 黄宇