0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看威廉希尔官方网站 视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

MEMS热式质量流量传感器的应用

敏芯股份 来源:敏芯股份 2023-11-20 09:47 次阅读

热式质量流量传感器是利用气体流经加热元器件时,从加热元器件表面带走部分热量,根据气体流量与换热量之间的关系进行测量。利用此传感器做成的流量计具有结构简单、压损小、量程范围宽、过载无损害等优点。

产品原理

基于热交换原理的MEMS质量流量传感器:结构由位于由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成。

a806bfde-8745-11ee-939d-92fbcf53809c.png

1. 当传感器表面没有气流时,微热源周围的温度场呈对称分布,见上左图;

2. 当传感器表面有气体流动时,气体对微热源有冷却效应,将从微热源带走一部分热量,从而导致微热源周围的温度场对称性被破坏,如上右图。且气体的流速越大,气体从微热源带走的热量越多,微热源周围的温度的不对称性越大。气体的流速通过上下游温度传感器的温度差计算出来。

产品应用

将 MFSH01/MFSL01 传感器贴在预先定义好的 RF4 或陶瓷基板上,并将基板放置于在精心设计的气体流道中可实现质量流量的双向测量。它特别适合于具有高可靠性、高精度、宽量程要求的洁净气体的测量和监控,包括汽车空气流量检测、医疗呼吸检测及工业气体测量等应用。

wKgZomVauw6AfVcvAADxCkNI_Lc793.jpg

传感器可在恒定功率(CP)和恒定电压(CV)模式下工作,但由于 CTD 模式可保证传感器有宽的动态测量范围,因而更推荐工作在所述恒温差(CTD) 模式。所谓的 CTD 测量,是微热源的温度高于环境气体的温度,气体流过时带走一部分热量,保持加热元件和被测气体温度差恒定在一定的温差,控制和测量热源提供的功率,功率消耗随流速的增加而增加,由功率的消耗反映气体流速。

在 CTD 模式工作时, 流量模组可非常快速地检测热平衡的任何变化,并通过加热器调整电源功率的以此测出流速的大小。这种模式可提高质量流量的测量精度以及获得毫秒的响应速度。

wKgaomVauyuAHxxQAAEW2MDzhBM836.jpg

产品特征

a834c9ba-8745-11ee-939d-92fbcf53809c.png








审核编辑:刘清

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 传感器
    +关注

    关注

    2550

    文章

    51046

    浏览量

    753160
  • mems
    +关注

    关注

    129

    文章

    3928

    浏览量

    190592
  • 加热器
    +关注

    关注

    3

    文章

    222

    浏览量

    21143
  • CTD
    CTD
    +关注

    关注

    1

    文章

    3

    浏览量

    2595

原文标题:敏芯股份:MEMS热式质量流量传感器的应用

文章出处:【微信号:敏芯股份,微信公众号:敏芯股份】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    盘点5种应用最广MEMS传感器

      MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微电子机械系统)传感器作为连接物理世界与数字世界的桥梁,正在各个行业中发挥着越来越重要的作用。从消费电子到汽车电子,从
    的头像 发表于 12-17 09:40 142次阅读

    流量计的传感器类型 靶流量计的校准方法

    流量计的传感器类型 靶流量计的传感器类型主要取决于其工作原理和应用场景。以下是几种常见的靶
    的头像 发表于 12-11 17:02 213次阅读

    测量原理:未来氢气燃气表的理想选择

    什么是测量原理基于微机电系统(MEMS)的量传感器元件(见图1a)是所有
    的头像 发表于 11-28 15:16 128次阅读
    <b class='flag-5'>热</b><b class='flag-5'>式</b>测量原理:未来氢气燃气表的理想选择

    MEMS和传统传感器的区别

    在现代科技领域,传感器威廉希尔官方网站 是实现智能化和自动化的关键。随着微电子威廉希尔官方网站 的发展,MEMS(微电机系统)传感器作为一种新型传感器威廉希尔官方网站 ,与传统传感器
    的头像 发表于 11-20 10:05 603次阅读

    如何选择合适的MEMS传感器

    在现代威廉希尔官方网站 中,MEMS传感器因其小尺寸、低成本和高集成度而变得越来越重要。它们广泛应用于消费电子、汽车、医疗设备和工业自动化等领域。选择合适的MEMS传感器对于确保系统性能和可靠性至关
    的头像 发表于 11-20 10:03 236次阅读

    MEMS传感器应用领域 MEMS威廉希尔官方网站 在智能手机中的应用

    MEMS传感器,即微型传感器,是将机械结构和电子电路集成在一块硅片上的高科技装置。其应用领域广泛,特别是在智能手机中的应用尤为突出。以下是对MEMS
    的头像 发表于 11-20 10:01 558次阅读

    mems传感器是什么意思_mems传感器原理是什么

    MEMS传感器是一种微型电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)传感器,它将传感器和微机电系统集成在一起,利用微纳威廉希尔官方网站 实现微型化。这种
    的头像 发表于 10-18 15:33 1290次阅读

    解粒子传感器有哪些

    立式 :解粒子式电气火灾监控探测可以根据其工作方式分为独立式和非独立式。独立式探测能够单独工作,具有独立的探测和报警功能;而非独立式探测则需要与其他设备或系统配合使用。 单
    的头像 发表于 09-25 14:54 292次阅读

    解粒子传感器工作原理是什么

    和散失来检测颗粒物的存在和浓度。 1. 解粒子传感器的基本概念 解粒子传感器是一种基于热传导原理的传感器,它通过测量空气中颗粒物对热能的
    的头像 发表于 09-25 14:25 569次阅读

    MEMS流量传感器的发展历史与原理

    来源:青岛芯笙流量计和控制 编辑:感知芯视界 Link 发展历史 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微电子机械系统)流量
    的头像 发表于 07-22 09:14 381次阅读

    流量传感器(1)差压流量传感器说明

    流量传感器是一种用于测量流体在一定时间内通过一定横截面的量(流量)的设备,根据测量原理不同,可以分为但不仅限于以下几种类型
    的头像 发表于 05-01 16:11 3314次阅读
    <b class='flag-5'>流量</b><b class='flag-5'>传感器</b>(1)差压<b class='flag-5'>式</b><b class='flag-5'>流量</b><b class='flag-5'>传感器</b>说明

    奥松电子自主创新研发的三大系列产品荣获广东省名优高新威廉希尔官方网站 产品

    近日,奥松电子自主创新研发的“MEMS高灵敏气体传感器”、“新一代MEMS智能差压传感器”和“高集成
    的头像 发表于 03-08 18:19 822次阅读
    奥松电子自主创新研发的三大系列产品荣获广东省名优高新威廉希尔官方网站
产品

    MEMS气体传感器应用和发展

    的角色。 随着经济的发展、威廉希尔官方网站 的进步,气体传感器的应用更加广泛,逐渐向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。这些年,随着MEMS(微机电系统)威廉希尔官方网站 的进步,以MEMS威廉希尔官方网站 为基础的气体传感器
    的头像 发表于 01-17 17:58 855次阅读

    如何防止数字 MEMS 传感器出现混叠现象

    作者:Tom Bocchino, STMicroelectronics 过去十多年来,基于微机电系统 (MEMS) 的设计人员一直选择使用数字 MEMS 传感器,而不是模拟
    的头像 发表于 01-01 15:35 880次阅读
    如何防止数字 <b class='flag-5'>MEMS</b> <b class='flag-5'>传感器</b>出现混叠现象

    MEMS气体流量传感器及其应用选型

    气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器,利用 MEMS
    的头像 发表于 12-28 16:26 1189次阅读
    <b class='flag-5'>MEMS</b><b class='flag-5'>热</b><b class='flag-5'>式</b>气体<b class='flag-5'>流量</b><b class='flag-5'>传感器</b>及其应用选型