2023年9月,科友半导体自产首批8英寸碳化硅衬底成功下线。
科友半导体8英寸碳化硅(SiC)中试线在2023年4月正式贯通后,同步推进晶体生长厚度、良率提升和衬底加工产线建设,加快衬底加工设备调试与工艺参数优化,SiC衬底加工良率和面型参数上不断取得新的进展。
2023年9月,科友首批自产8英寸SiC衬底于科友产学研聚集区衬底加工车间成功下线,这标志着科友在8英寸SiC衬底加工,以及大尺寸衬底产业化方面迈出了坚实一步。
批量生产的8英寸碳化硅晶体
8英寸碳化硅切割片
科友首批8英寸碳化硅衬底
科友半导体8英寸SiC衬底的突破将超越一城一事的欢喜,代表着中国的8英寸SiC距离“实现”又迈出坚定一步!
哈尔滨科友半导体产业装备与威廉希尔官方网站
研究院有限公司成立于2018年5月,企业坐落于哈尔滨市新区,是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家级高新威廉希尔官方网站
企业,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,已形成自主知识产权,实现先进威廉希尔官方网站
自主可控。
科友半导体在哈尔滨新区打造产、学、研一体化的第三代半导体产学研聚集区,实现碳化硅材料端从原材料提纯-装备制造-晶体生长-衬底加工-外延晶圆的材料端全产业链闭合,致力成为第三代半导体关键材料和高端装备主要供应商。
审核编辑:刘清
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原文标题:科友半导体自产首批8英寸碳化硅衬底下线
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