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为什么晶圆是圆的?芯片是方的?

朗迅科技 来源:杭州朗迅科技股份有限公 2023-08-02 16:49 次阅读

因为它叫晶圆,不叫晶方。开个玩笑。

按理说,方型的die放在圆形的wafer里总会不可避免有空间浪费,为什么不做成方型的更节省空间。

Die:晶圆生产完成后,将各集成电路切割分开,成为晶粒,一粒、一粒的,每一粒就是一个集成电路,也就是未封装的芯片,即裸晶。

Wafer:即晶圆,由纯硅(Si)构成。一般分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等,Die就是基于wafer上生产出来的。

因为制作工艺决定了它是圆形的。提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转生长出来的。多晶硅被融化后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中,再将子晶放入坩埚中匀速转动并且向上提拉,则熔融的硅会沿着子晶向形成一个圆柱体的硅锭(ingot)。这种方法就是现在一直在用的CZ法(Czochralski),也叫单晶直拉法。如下图:

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然后硅锭再经过金刚线切割变成硅片:

4eb3eae0-3111-11ee-9e74-dac502259ad0.png

硅片经过打磨等处理后就可以进行后续的工序了。

单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型,从而决定晶圆是圆形的。

为什么后来又不圆了呢?其实中间有个过程被掠过了,即Flat/Notch Grinning。

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其在硅锭做出来后就要进行。在200mm以下的硅锭上是切割一个平角,叫做Flat。在200mm(含)以上硅锭上,为了减少浪费,只裁剪个圆形小口,叫做Notch。

如果你仔细看本文的第一个图,就会发现它其实是有缺一个小豁口的。

为什么要这样做呢?其实,这个小豁口因为太靠近边缘而且很小,在制作Die时是注定没有用的,这样做可以帮助后续工序确定Wafer摆放位置,为了定位,也标明了单晶生长的晶向。

这样切割和测试都比较方便。严格意义上所有的Wafer都不是圆形的。如果忽略Flat/Notch这些小问题,那它的圆形由工艺所决定。

圆形的芯片其实更难制造

硅片在经过涂胶、光刻、刻蚀、离子注入等步骤后,一颗颗芯片才会被制造出来,不过此时芯片还是“长”在晶圆上的,需要经过切割才能变成一颗颗单独的芯片。

想象一下,方形的芯片仅需几刀就可以全部切下。如果是圆形的芯片呢?恐怕就要耗费比方形几倍的时间来切割了。从封装方向看,方形的芯片也便于进行引线操作,即使是Flip chip型封装,方形也更方便机器操作芯片将I/O接口与焊盘对齐。

最重要的一点,圆形芯片并不能解决硅片面积浪费的问题。在一个晶圆上切下许多方形区域,这些区域中间不会有缝隙,仅会在晶圆边缘留下空余。但如果从一个平面上切下很多圆形的区域,中间就一定会有部分区域被浪费,同时还不能避免晶圆外围的浪费。

圆形排列会有缝隙

其实节约晶圆面积始终是一项重要课题。晶圆上能生产的芯片越多,生产效率就越高,单颗芯片的成本也越低。目前解决生产效率的最好方法就是提高晶圆面积,也就是我们熟悉的微积分。

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晶圆越大,空余面积越小

从图片中可以简单看出,当芯片面积固定时,采用更大的晶圆可以有效提升晶圆利用率。以国际上Fab厂通用的计算公式看:

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在12寸晶圆上生产100mm²的芯片约能生产660块芯片,而采用8寸晶圆,就只有180块芯片,晶圆面积减少50%,但芯片数量却少了72%。因此,目前12寸晶圆成为全球更大IDM与foundry厂商的主要战场。我国目前只有少量企业拥有12英寸的半导体硅片制造威廉希尔官方网站 ,国内企业正在加速追赶世界前列。

从晶圆利用率看,目前不可能有圆形的芯片了,但是真的存在方形的“晶圆”,不仅存在还很常见。

方形的光伏硅片

硅片除了可以制作芯片外,在光伏领域也是极其重要的部分。

光伏发电是利用硅片的光伏效应,将阳光辐射能直接转换为电能的发电形式。晶体硅的光伏效应多晶与单晶都适用,不过单晶硅晶体完整,光学和电学性质均一,机械强度更高,且光电转换更高效,所以单晶电池转换效率可以比多晶电池高2-3个百分点。

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太阳能电池板结构(电池片即为硅片)

光伏单晶硅的制备过程的前期与芯片单晶硅相同,都是先将高纯硅加热至熔融态,再从中拉出一根单晶硅棒。切片前,光伏硅会先将硅棒切成长方体,这样硅片的横截面就变成方形了。采用方形的原因同样很简单,如果光伏电池是圆形的,多个电池排列成太阳能电池板中间就会出现空隙,降低了整体转化率。

与芯片相比,制造光伏板对硅纯度的要求要稍低,纯度标准只需要99.9999%,达不到制作芯片的99.999999999%。

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半导体硅片与光伏硅片区别

总结

回答一下标题提出的问题,芯片为什么是方的?圆形芯片难以切割,后续封装阶段也不方便控制,最重要的是,圆形芯片不能解决晶圆面积浪费的问题。为什么晶圆是圆的?在生产芯片的过程中,圆形晶圆由于力学因素生产更方便,良率更高,且硅棒天然是圆柱型,晶圆自然也就是圆形了。不过在光伏领域,方形硅片在电池封装时不会浪费空间,所以光伏硅片采用方形。





审核编辑:刘清

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原文标题:【朗迅一刻】为什么晶圆是圆的?芯片是方的?

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