一文看懂压电纳米定位台的工作原理及应用范围

压电纳米位移台的结构

压电纳米定位台具有移动面，是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出，分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。运动范围可达500μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性，在精密定位领域中发挥着主要作用。

压电纳米定位台的工作原理

纳米位移台主要采用超精密运动控制威廉希尔官方网站 超精密威廉希尔官方网站 是由光、机、电、控制软件等多领域威廉希尔官方网站 集成的运动控制威廉希尔官方网站 。

内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链威廉希尔官方网站 将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

压电纳米定位台的特点

压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现高精度位移，定位精度可达纳米级。具有超高的导向精度，有高刚性、高负载、无摩擦等特点。

压电纳米位移台典型应用

压电纳米定位台凭借高稳定性、高分辨率等优良特性，广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米威廉希尔官方网站 、激光与光学、航天航空、生物医学、航天航空等领域。

01纳米位移台应用于计量型扫描电镜系统

02纳米位移台应用于超高分辨扫描系统

03纳米位移台在纳米探针上的应用

04纳米位移台在微加工系统上的应用

05纳米位移台在激光直写上的应用

06纳米位移台在生物医学上的应用癌症诊断扫描仪

第四代基因测序

三英精控相关产品

三英精控近年来从解耦控制、反馈控制、前馈控制、协同控制等多个方面深耕超精密运动台控制相关研究，并不断进步持续获得进展和突破。

三英精控高精度运动控制平台定位精度已达到纳米级，性能稳定。

NS-X700-01超大行程X轴纳米定位台

典型应用：显微成像、光学对准 、光栅刻写、半导体加工 、生物材料分析

NS-Z8-01微型Z轴纳米定位台

典型应用：半导体、表面检测 、光学探针、AFM/SPM/SNOM 、高密度存储

NS-Z700-01超大行程Z轴物镜定位台

典型应用：晶圆切割、显微成像 、微电子精密加工、物镜调焦及扫描、可定制不同的物镜接口

NS-XY100-02真空吸盘XY二维纳米定位台

典型应用：表面检测、显微成像、激光威廉希尔官方网站 、半导体加工与测试 、高密度光存储与磁存储

NS-XY200-02大负载XY二维纳米定位台

典型应用：激光加工、显微成像、表面分析 、光学对准、光学测量

NS-XY400-01超大行程XY二维纳米定位台

典型应用：激光加工、显微成像、表面分析 、光学对准、光学测量

NS-XY20Z5-01AFM专用XYZ三维纳米扫描台

典型应用：AFM/SPM/SFM 、光学探针、表面检测 、半导体加工、高密度存储

NS-XY25Z20-01超紧凑型XYZ三维纳米定位台

典型应用：AFM/SPM/SNOM、表面检测、光学探针、高密度存储、半导体加工

NS-XY400Z100-01超大行程XYZ三维纳米定位台

典型应用：显微成像、激光加工 、半导体检测、超分辨率成像、大样品AFM/SPM/SNOM

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审核编辑 黄宇