联讯仪器PXIe源测量单元(SMU)集成高精度源和测量单元,可利用PXIe源测量单元构建高密度并行测试系统,以满足大规模半导体集成电路的高通道密度,并增加配置的灵活性,最大化测试效率,降低测试成本。
联讯仪器PXIe SMU基于先进的数字控制威廉希尔官方网站 ,集成的Adaptive PFC(Precision-Fast Control)系统使用户可根据负载特性,调整相关参数来获得精确、快速的输出特性, 即使在高容性负载情况下,也可最小化过冲和振荡。
1
主要特点
01
高电压高精度测量
S2013C 支持200V/1A直流/3A脉冲,分辨率100fA/100nV,电压精度100μV,电流精度200pA
02
AdaptivePFC系统
用户可利用Adaptive PFC(Precise-Fast Control)系统,用户可根据负载特性,调整相关参数,获得更精确,快速的输出特性
03
高速测量S2013C最高可支持1M的采样率,NPLC和采样率可根据需要设定,以满足高速高精度的测量场景
2
Adaptive PFC系统
SMU采用闭环反馈控制,以确保源的输出精确的加在负载上。实际使用中,对于不同的负载,要获得理想的响应,源表的输出特性需要可配置,然而传统的SMU使用interwetten与威廉的赔率体系 硬件来实现控制循环,负载会直接影响用于调节输出电压或电流的控制循环。因此传统的模拟架构很难实现既快又没有过冲,设计刚好能为不同负载提供理想响应的电路几乎不现实。
联讯PXIe源表采用数字控制系统, 集成的Adaptive PFC(Precise-Fast Control)系统,可通过软件优化控制循环,从而实现对不同负载的响应进行优化。该威廉希尔官方网站 能够提供最佳响应时间,缩短测试时间,并且消除振荡,提高测试的稳定性。
通过数字闭环控制调节输出特性
调整前输出特性 调整后输出特性
3
PXIe源测量单元在晶圆测试中的应用
晶圆(Wafer)制作完成之后,成千上万的裸Die规则的分布满整个Wafer,芯片的管脚全部裸露在外,通过探针将裸露的芯片与源测试单元相连,进行各项电性能参数的表征。
联讯仪器PXIe源表支持标准PXIe机箱,用户可根据需求配置不同槽位的机箱,将PXIe源表安装在机箱中,从而实现多路的并行测试,提高测试效率!
S2012C在CP(Chip Probing)测试中的应用
4
联讯源表系列
联讯仪器可提供台式源表(带主机和触摸屏)以及PXIe 插卡式源表(支持标准PXIe机箱),用户可根据需求灵活选择。
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