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季丰电子FEI-Centrios线路修补设备为客户提供高效服务

上海季丰电子 来源:上海季丰电子 2023-06-20 11:21 次阅读

FEI-Centrios线路修补设备可以更高效地根据客户需求,完成铝制程及铜制程芯片,市场大部铝制程及铜制程(90nm,55nm,40nm,28nm,14nm,10nm以下)均可以施工。

季丰电子目前一共拥有5台FEI-Centrios线路修补设备,张江实验室3台FIB线路修补设备,深圳实验室2台线路修补设备,为区域及辐射区域客户提供更高效更便捷的支持服务。

FIB-CKT

FEI-Centrios线路修补设备专注于芯片微加工威廉希尔官方网站 ,在纳米级线宽的微细加工领域发挥着重要作用,同时也使季丰FA分析服务链更完整。

3.2nm超高分辨率聚焦离子束镜筒,能够更精准无污染的对复杂样品进行加工,支持最小14nm工艺制程;配置高分辨率 IR 显微镜可观察(900 - 1700nm)可以进行高精度的Back-side。

局部的线路修改可省略重作光罩和初次试作的研发成本,有效缩短研发到量产的时间,节省大量研发费用。

FIB设备的应用:

同层和不同层金属线的切割和连接

通过十字Pad或方块Pad引出金属线信号进行电性测试

Bonding Pad 将芯片内部信号通过打线直接引出到封装体上

22nm的金属线的切割和连接

Backside-FIB切割

IR定位
责任编辑:彭菁

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原文标题:季丰电子新增设备-FIB-CKT 线路修补设备 FEI-Centrios

文章出处:【微信号:zzz9970814,微信公众号:上海季丰电子】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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