产品简介:
基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列
搭载白光干涉功能 ,纳米/微米/毫米一台即可完成测量
超越激光显微镜的限制,以三重扫描方式应对
•一台即可测量纳米/微米/毫米
•一台即可了解希望获取的信息
•纳米级分辨率
详细介绍:
基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列
产品外观
产品特性
采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,
以及镜面体,透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。
观察
从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖
- 42至 28800倍
- 无需对焦
- 适用于多种样品
测量
非接触瞬间扫描形状
- 不会损伤目标物
- 纳米级别也可准确测量
- 透明体和坡度大的目标物也可测量
分析
希望了解的表面“差异”一目了然
- 定量化微小形状
- 轻松比较多个样品
- 粗糙度分析
2、三重扫描方式解决“难以测量”的难题
可根据样品工件的材料、形状和测量范围,选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,进行高精度测量。
3、纳米级分辨率
即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。
此外,如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
4、连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量
扫描区域50 mm见方。
凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。
只需一台设备,即可同时掌握整体形状和局部形状。
5、精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。
适用于各种目标物的测量能力
测量案例
Si晶片背面│ 3000倍
表面粗糙度测量
MEMS│ 2 mm × 2 mm
提供:Matthieu Denoual博士(GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France)与东京大学研究生院三田吉郎研究室
相机卡口部端子│ 30 mm × 12 mm
端子的形状测量
基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列
除上述应用外,在其他行业也应用广泛。
如果想了解更多信息可留言或电话咨询,我们将竭诚为您服务。
-
测量
+关注
关注
10文章
4857浏览量
111270
发布评论请先 登录
相关推荐
评论