激光干涉仪可以完成哪些测量？
激光干涉仪可以完成哪些测量？中图仪器SJ6000激光干涉仪以干涉威廉希尔官方网站 为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频威廉希尔官方网站 ，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
中图仪器SJ6000激光干涉仪产品功能
- 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
- 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
- 可实现对机床回转轴的测量与校准；
- 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
- 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
- 支持手动或自动进行环境补偿。
测量应用
斜床的倾斜轴测量
传感器线性精度测量
导轨直线度检测
回转轴精度测量
自动化设备精度测量威廉希尔官方网站 参数
产品型号：SJ6000
产品名称：SJ6000激光干涉仪
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取
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