激光干涉仪与光刻机的缘分
光刻机是集成电路生产的关键设备之一，在整个生产过程中占据重要的地位。高精度的工作台作为光刻机核心部件之一，其运动性能和定位精度决定了光刻工艺所能实现的线宽和产率。
光刻机的工作台是一个六自由度的运动台，其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch，直线度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是获得XY线性（重复）精度（Linear Positioning）的关键，是后续实现六自由度的控制的基石，是多层曝光对准精度的源头。
本次利用SJ6000激光干涉仪检测一台光刻机XY轴的角摆和直线度，部分结果如下：
Y轴Vertical Straightness测量
X轴Pitch测量
X轴测量轴长225mm，其中垂直直线度测得结果0.58μm。
Y轴测量轴长600mm，测得角度Yaw结果0.86″。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
激光干涉仪
+关注
关注
0文章
72浏览量
8009
发布评论请先 登录
相关推荐
用于光学测量的菲索干涉仪
摘要
斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如
发表于 12-26 10:18
天文光干涉仪
简介 天文光干涉仪能够实现恒星和星系的高角分辨率的测量。首次搭建的天文光干涉仪分别由菲索（1868）和迈克尔逊（1890）提出。迈克尔逊恒星干涉仪于1920年成功地测出参宿四的直径。现如今，恒星
发表于 12-25 15:26
白光干涉仪测量原理及干涉测量威廉希尔官方网站 的应用
白光干涉仪利用干涉原理测光程差，测物理量，具高精度。应用于半导体、光学加工、汽车零部件制造及科研等领域，双重防撞保护保障测量安全。
优可测白光干涉仪：激光陀螺仪提升良率与精度的关键
激光陀螺仪广泛应用于航空航天、军事防御、海洋勘探、自动驾驶等领域，其高灵敏度、强抗干扰和可靠性源于精密制造威廉希尔官方网站
。优可测白光干涉仪助力激光陀螺仪
激光干涉仪是如何测量位移的？
激光干涉仪是一种广泛应用于科学研究、工业制造和精密测量领域的仪器。在科学研究领域，激光干涉仪广泛应用于物理学、化学和生物学等多个学科，为研究人员提供了强大的工具。在工业制造中，
激光干涉仪可以完成哪些测量：SJ6000的全面应用解析
在高端制造领域，精度是衡量产品质量的关键指标之一。激光干涉仪作为一项高精度测量威廉希尔官方网站
，其应用广泛，对于提升产品制造精度具有重要意义。线性测量：精确定位的基础SJ6000激光干涉仪采用迈克
激光共聚焦和白光干涉仪哪个好？
激光共聚焦和白光干涉仪哪个好？在精密测量领域，激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好，取决于具体的测量需求和
发表于 05-06 09:41
•0次下载
激光干涉仪SJ6000应用拓展：透镜曲率半径测量
透镜是由透明物质（如玻璃、水晶等）制成的一种光学元件，广泛应用于安防、车载、数码相机、激光、光学仪器等各个领域。曲率半径是透镜设计与制造的一个重要参数，在生产制造过程中常使用菲索型激光干涉仪通过测试
发表于 04-28 09:06
•0次下载
SJ6000激光干涉仪应用拓展：透镜曲率半径测量
透镜是由透明物质（如玻璃、水晶等）制成的一种光学元件，广泛应用于安防、车载、数码相机、激光、光学仪器等各个领域。曲率半径是透镜设计与制造的一个重要参数，在生产制造过程中常使用菲索型激光干涉仪通过测试
激光共聚焦和白光干涉仪哪个好？
在精密测量领域，激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好，取决于具体的测量需求和样品特性。在选择适合特定应用的威廉希尔官方网站
时，需要
SJ6000激光干涉仪测量机床精度全面解析
在机床加工领域，精度是评判机床质量的重要指标之一。而激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床
发表于 03-14 10:51
•0次下载
数控测量|激光干涉仪80米直测，诊断校准运动导轨
在现代工业制造中，运动导轨作为精密设备的关键组件之一，其精密度和稳定性影响着设备的定位准确性和运动稳定性。为了保证导轨的高精度性能，激光干涉仪应运而生。校准运动导轨的重要性运动导轨的精度直接关系
工商网监
评论