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赛微电子:MEMS生物芯片通过验证并启动试产

MEMS 来源:MEMS 2023-01-13 11:01 次阅读

2023年1月10日,北京赛微电子股份有限公司(以下简称“公司”)控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(简称“赛莱克斯北京”)代工制造的某款 MEMS微机电系统)生物芯片通过了客户验证,该客户已同步签署试产订单,启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。

生物微机电系统(BioMEMS)是指生物医学工程与MEMS工程的交叉学科及应用,所对应的各类芯片系统涉及微传感器、微驱动器、微流体系统、微光学系统及微机械元件等,可在生物学、医学和生物医学工程等领域广泛应用。本次试产的MEMS生物芯片属于一款具体产品及应用。MEMS生物芯片与相应检测仪器配合使用,通过MEMS工艺威廉希尔官方网站 在芯片表面构建微型生物化学分析系统,从而实现对生命机体的生物组分进行准确、快速、大量的信息检测,可广泛应用于基因测序等多种精准医疗检测场景。

MEMS制造工艺可以在微小的生物芯片中加工微纳米级别的泵、阀、管道、容器等,将生物传感器的复杂功能集成内置在芯片中,同时可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。赛莱克斯北京通过自身对材料与工艺的深刻理解,自主创新MEMS制造工艺的应用,成功地在产线上实现硅衬底与玻璃衬底的兼容,并在此基础上完成加工制造过程。

近年来,赛莱克斯北京持续加大研发投入,自主积累基础工艺,积极探索各类MEMS器件的生产诀窍,努力为全球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户,尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务,积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力,加速国产替代。

尽管通过全员努力,已在多领域实现MEMS制造威廉希尔官方网站 的积累和突破,但赛莱克斯北京客观上仍处于运营初期,产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程,产能的继续扩充以及产量目标的实现尚需一定时间。

审核编辑 :李倩

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原文标题:赛微电子:MEMS生物芯片通过验证并启动试产

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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