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一文详解离子束工艺威廉希尔官方网站

半导体之芯 来源:半导体之芯 作者:半导体之芯 2022-11-22 10:44 次阅读

二次离子质谱(SIMS)是一种分析方法。具有高空间分辨率和高灵敏度的工具。它使用高度聚焦的离子束(通常是氧气或(无机样品用铯离子)“溅射”样品表面上选定区域的材料。

喷射出的“二次离子”通过质量。分光计,它将离子按照它们的质量/电荷比,实际上提供了化学物质分析一个很小的取样量。

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编辑:黄飞


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原文标题:聚焦离子束工艺威廉希尔官方网站 详解(178页PPT)

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