差动电涡流传感器测量原理:
差分测量系统是精密测量威廉希尔官方网站 的重大进步。它们提供出色的分辨率、可重复性和归零精度,用于检测导电目标相对于一对非接触式传感器的对齐/居中位置。
对于差分测量应用,每个通道有两个精确匹配的传感器位于目标的相对两侧或两端。在这种传感器到目标的关系中,当目标远离一个传感器时,它向另一个传感器移动等量。输出为差分和双极。同一电桥的相对腿上的电子匹配传感器提供了卓越的热稳定性。
差动电涡流传感器应用领域:
超高精度宇航应用、中继镜片激光定位(RME)、激光反射镜聚焦平台定位、半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦、精确望远镜定位、磁悬浮轴定位、低温(液氮环境测量金属位移变化)、真空应用(传感器和KD5100的电子器件都已用在10-6托的真空应用中)……
KD5100及DIT5200系列都是基于差分系统的电涡流传感器。KD5100纳米级差动电涡流传感器主要特点:
(1)、每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm;
(2)、超耐热,长时间稳定:1.27x10-4mm/月或更好;
(3)、有耐低温传感器;
(4)、超高灵敏度,最高到394 mV/µm;
(5)、低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情况下);
(6)、探头和控制器都可用于低至10-6Torr的真空应用;
(7)、小尺寸:2 x 2.12 x 0.75 英寸厚。
KD5100纳米级差动电涡流传感器参数:
审核编辑 黄昊宇
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