科普一下扇出型晶圆级封装（FOWLP）

近几年中，芯片特征尺寸已接近物理极限，而先进封装威廉希尔官方网站 成为延续摩尔定律的重要途径。一系列新型封装威廉希尔官方网站 出现在人们视野之中。而其中扇出型晶圆级封装（FOWLP）被寄予厚望，它将为下一代紧凑型、高性能的电子设备提供坚实而有力的支持。

扇出型晶圆级封装威廉希尔官方网站 无需使用中介层或硅通孔（TSV），即可实现外形尺寸更小芯片的封装异构集成。在嵌入每个裸片时，裸片间的空隙会有一个额外的I/O连接点，在提高I/O数量的同时，也会使得硅的利用率有所提升。在扇出型晶圆级封装威廉希尔官方网站 的加持下，具有成千上万I/O点的半导体器件可通过两到五微米间隔线实现无缝连接，从而使互连密度最大化。

工艺步骤

从晶圆代工厂（Foundry）生产完成的晶圆（Wafer）经过测试后进入生产线类似传统封装，扇出型封装第一步也需要将来料晶圆切割成为裸晶。

扇出型封装的主要特点是将切割后的裸晶组合成为重构晶圆，与来料晶圆相比，重构晶圆上裸晶之间的距离相对更大，因此方便构造单位面积更大，输入输出（I/O）更多的芯片成品。

塑封、去除载片

完成重构晶圆的贴片后，对重构晶圆进行塑封以固定和保护裸晶。然后将重构晶圆载片移除，从而将裸晶对外的输入输出接口（I/O）露出。

制作再布线层

为了将裸晶上的接口（I/O）引出至方便焊接的位置，在晶圆上通过金属布线工艺制作再布线层（RDL）。

晶圆减薄

为使芯片成品更轻薄，对晶圆进行减薄加工。

植球

在再布线层（RDL）所连接的金属焊盘上进行植球，方便后续芯片在印刷电路板（PCB）上的焊接。

晶圆切割、芯片成品

最后将重构晶圆进行切割，以得到独立的芯片。

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审核编辑：刘清