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CM300xi-ULN探针台的独特之处

芯睿科技 来源:芯睿科技 作者:芯睿科技 2022-07-06 14:29 次阅读

CM300xi-ULN探针台的独特之处:

晶圆上噪声测试的新黄金标准——CM300xi-ULN探针台

PureLine 3威廉希尔官方网站 消除97%的环境噪声

利用TestCell电源管理消除接地回路引起的噪声

在这篇文章中,我们将涵盖实现高吞吐量闪烁噪声测量。闪烁和RTN噪声测试可能需要很长时间,尤其是在测量频率低至1 Hz或更低的情况下。单一温度下的扫描时间通常长达30分钟。器件模型的标准数据采集需要在多个温度下在小衬垫上的DUT数据。

为了降低测试成本(CoT),并显著提高晶圆上测试吞吐量,可以使用四种不同的方法将自动化添加到测试设置中:

自动上料

用于小pad接地优化的电动探针座

自动探针与pad对准、变温测量

多DUT自动测量

针对方法1,可以使用标准生产探针台来提高数据收集吞吐量,但这些探针台是专为高速生产测试而设计,而不是高精度闪烁噪声测量。探针台噪声严重影响了最终数据的准确性。

针对方法2、3和4,需要显著的威廉希尔官方网站 发展——光学机械和软件——来摆脱缓慢的手动探针定位。

在所有情况下,重要的是要注意,自动化方法不可通过向探测环境中添加或传输不需要的噪声来损害TestCell的低噪声性能。这是添加非优化温控、硬件电子模块的传统方法的常见问题。

将我们的自动DC测量助手添加到CM300xi-ULN测量系统中,为工程师和实验室人员设置闪烁噪声测试创造了一个范例转变。现在可为半自动或全自动CM300xi-ULN系统设置一个高吞吐量TestCell,提供完全自动的24/7运行。

自动DC测量助手将电动探针座与最先进的图像处理威廉希尔官方网站 相结合,可随时获得高度可靠的测量数据。其支持小pad接地优化、多种不同温度下的自动测试以及测试sub-die的自动探针定位。所有功能均经过优化,以确保超低噪声性能不受影响。

测量软件可以轻松调用单DUT和多DUT探针布局,实现完全自动化。自动DC测量助手负责所有复杂的变温管理,以及探针对准pad(PTPA)的热稳定时间优化。其结果是超低噪声测量,在低至30um pad上实现小的接触电阻,适用于任何闪烁噪声建模和扩展的温度区间(-55至200℃),涵盖晶圆上的所有裸片和所有晶圆。

审核编辑:汤梓红

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
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