LTCC 滤波器的设计通常是基于经典滤波器设计理论,从结构上讲,主要有两种结构,一种是采用传统的 LC 谐振单元结构,谐振单元由集总参数的电容电 感组成,另一种是采用多层耦合带状线结构。本文所设计的低通滤波器采用种集总参数形式,理想化低通滤波器电路原理图如图3所示。
本文设计的LTCC滤波器中的集总参数的电容和电感通过 LTCC多层陶瓷集成在陶瓷基板内部。LTCC 内埋植电容的设计一般采用两种方式:垂直交指 型(VIC)电容和金属-介质-金属(MIM)电容。本文设计的滤波器的内埋置电容元件采用垂直交指型(VIC)电容,在相同电容量的情况下,VIC 结构电容相比 MIM 结构电容能够大大减小端电极面积,从而有效减小滤波器尺寸。
LTCC 内埋电感有平面螺旋电感、堆栈螺旋电感、多层螺旋电感等方式,如图 3所示,本文设计的低通滤波器内埋植电感元件采用多层螺旋结构的电感,在相同的有效电感值下此结构比平面螺旋式、堆栈螺旋式等结构具有更高的自谐振频率和品质因子。
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