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微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长

2009-10-6 09:32:46 2985

0 微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长采用微机电系统（ＭＥＭＳ）硅加工工艺，设计、加工出了６种不同规格的实验用微气泡控制生长ＭＥＭＳ器件；构建了ＭＥＭＳ器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验，讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明：同等实验条件下，加热电压幅值越高，微气泡生长速率越快；加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响；加热条件相同的前提下，微加热元宽度越大，气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快；微通道宽度一定且高宽比大于１的条件下，高宽比越小，后期微气泡生长速率越慢；微流体的流速越高，微气泡生长始点越晚、生长速率也越低。相同实验条件下，Ｒ１１３、ＦＣ?７２、去离子水三者中，Ｒ１１３中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快，去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢。关键词：微机电系统；微流体相变；微气泡生长；微小有限空间；矩形微通道 efJbC86n.pdf (1.87 MB, 下载次数: 12 ) 0
2009-10-6 09:32:46　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 基于微通道内气泡扰动强化换热 0 • 微机电系统（MEMS） 1322 • 微机电系统(MEMS)控制驱动讨论 28 • 微机电系统有什么特点？ 1020 • 微机电系统MEMS 20 • 微机电系统的发展与应用 6 • 微机电系统的发展与应用 14 • 微机电系统的发展及其应用 5534 • 通过精密控制驱动微机电系统 (MEMS) 0 • 微机电系统(MEMS)的基本工艺和应用 864