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IC尺寸微缩仍面临挑战。 为了使芯片微缩,总是利用光刻威廉希尔官方网站 来推动。然而近期Sematech在一次演讲中列举了可维持摩尔定律的其他一些威廉希尔官方网站 。 1. 零低k界面:在目前Intel的45nm设计中,采用硅衬底和高k金属栅。在硅与高k材料之间有低k材料。对于零低k界面,免去了低k材料,提高驱动电流并减少漏电。这是16nm节点的一种选择。 2. 单金属栅堆叠:与传统晶体管相比,高k金属栅利用了单金属栅堆叠结构,这改善了晶体管性能,且降低了器件功耗。 3. III-V族材料上栅堆叠:Intel、Sematech等已在讨论在未来设计中采用InGaAs/高k界面。这种方法也能改善性能降低功耗。 4. 量子阱MOSFET:在硅上采用硅锗结构是改善性能的一种方法。Intel近期展示了一款高速低功耗量子阱场效应晶体管。这种P沟道结构将基于40nm InSb材料。 5. 基于通孔硅威廉希尔官方网站 的3D芯片:Sematech近期透露了建立基于通孔硅威廉希尔官方网站 的300mm 3D芯片研发计划。 |
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