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微机电系统的发展及其应用
微机电系统是在微电子威廉希尔官方网站 基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪 的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述了微机电系统威廉希尔官方网站 基础所涉及的 材料、微机械设计和模、微细加工威廉希尔官方网站 以及微封装与测试等领域,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的 发展现状及前景进行全面分析. 在此基础上,论述了MEMS 威廉希尔官方网站 目前存在的问题和未来发展的趋势. 关键词: 微机电系统; 基础研究; 微加工威廉希尔官方网站 ;微型传感器;现状及展望 [此贴子已经被作者于2009-3-17 15:33:50编辑过]
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