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半导体设备中常用到温度传感器的有以下几种设备:
1. 控制温度的烘箱:半导体器件制造过程中需要对晶片进行退火、固化等步骤,在这些步骤中需要控制温度,使用温度传感器能够实时监测和调整烘箱温度。 2. 蒸发器:在半导体器件制造过程中,常常需要进行金属薄膜的蒸发,通过温度传感器可以监测蒸发器的温度,以确保薄膜的质量和稳定性。 3. 沉积器:在半导体器件制造过程中,需要使用化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等方法来生长膜层,温度传感器可以用来监测沉积器的温度,以调整沉积条件和控制膜层的质量。 4. 真空设备:半导体器件制造过程中需要使用真空环境,而真空环境的温度对于器件性能有重要影响,温度传感器可以用于监测和控制真空设备的温度。 至于探针台,它主要用于测试半导体器件的性能和特性,一般不需要直接使用温度传感器。然而,探针台和相关测试设备通常需要在特定的温度下工作,因此可能需要额外的温度控制和监测功能,例如使用恒温器来控制温度,或者使用温度传感器来监测环境温度。具体的要求可能会因为不同的探针台和测试设备而有所不同。 |
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