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在20世纪40年代初,由德国人研制了世界上第一只摆式陀螺加速度计。此后的半个多世纪以来,由于航天、航空和航海领域对惯性测量元件的需求,各种新型加速度计应运而生,性能和精度也有了很大的完善和提高。加速度计面世后作为最重要的惯性仪表之一,用在惯性导航和惯性制导系统中,与海陆空天运载体的自动驾驶及高威廉希尔官方网站
武器的高精度制导联系在一起。这时候的加速度计整个都很昂贵,使其他领域对它很少问津。直到微机械加速度计的问世,这种状况才发生了改变。随着MEMS威廉希尔官方网站
的发展,惯性传感器件在过去的几年中成为最...
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