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SJ6000激光干涉仪在钟罩式气体流量标准装置上的应用

2019-8-28 17:36:40 1442 激光干涉仪

0 　　钟罩式气体流量标准装置是以空气为介质 ,对气体流量计进行检定、测试的计量标准设备。　　钟罩式气体流量标准装置由密封槽、密封液、湿度传感器、钟罩罩体、温度传感器、导向系统、光电传感器、激光干涉仪、凸轮、压力传感器、浮力补偿配重、液位平衡配重、液位平衡液槽等组成。激光干涉仪作用：　　传统的尺寸法应用游标卡尺来测量光电传感器之间的距离 ,这种方法准确度不高且由于人为因素的影响 ,测量结果的重复性较差。在新的标定方法中 ,应用激光干涉仪测量光电传感器之间的距离 ,得到了较好的测量结果。激光干涉仪本身的准确度很高 ,其分辨力可以达到1nm。应用激光干涉仪测量光电传感器之间的距离关键要保证钟罩在作直线运动的过程中 ,光电传感器的触发时间和激光测距的时间同步。基于这点考虑 ,在测量光电传感器间距离时 ,利用光电传感器发出的高电平信号来触发激光干涉仪计数脉冲信号 ,实现同步的效果。光电传感器每次被触发会发出一个高电平信号 ,把这个高电平信号　　作为触发脉冲 ,用脉冲的上升沿来触发激光干涉仪的计数脉冲信号开始计数 ,同时也开始距离的测量 ;同理 ,当下一个光电传感器被触发时 ,高电平信号触发激光干涉仪停止计数 ,同时停止测量。这样就得到了光电传感器两次触发间激光干涉仪测量得到的脉冲数和两个光电传感器之间的距离。这种测量方法带来的最大误差为 1 个激光干涉仪计数脉冲对应的距离值( < 0. 1μm) 。附：SJ6000激光干涉仪主要指标主机稳频精度：0.05ppm 动态采集频率：50 kHz 预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃ 存储温度范围：(-20~70)℃ 环境湿度：(0~95)%RH 环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃ 材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ 空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH 大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa 线性测量测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件) 测量精度：0.5ppm (0~40)℃ 测量分辨力：1nm 测量最大速度：4m/s 0
2019-8-28 17:36:40　　评论淘帖0 举报相关推荐 • SJ6000激光干涉仪介绍 0 • SJ6000激光干涉仪的性能特点及应用范围 3522 • 激光干涉仪SJ6000应用拓展：透镜曲率半径测量 0 • SJ6000激光干涉仪诊断校准运动导轨，80米直测 0 • SJ6000激光干涉仪测量机床精度全面解析 0 • SJ6000激光干涉仪角度测量保证机床加工精度 3 • 激光干涉仪可以完成哪些测量：SJ6000的全面应用解析 606 • SJ6000激光干涉仪可以对机床的什么参数进行测量？ 742 • SJ6000激光干涉仪应用拓展：透镜曲率半径测量 474 • SJ6000激光干涉仪如何检查斜导轨机床？ 704