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大家好，我想了解下ADXL001 MEMS传感器 在电气性能上与现在在工业领域常用的压电式加速度传感器有什么差别。目前几乎大多数的工业振动加速度传感器都是压电式的传感器。而ADXL001 看上去 要显得体积更小且对温度的承受能力也在工业应用的范围内。在电气性能上，0.2%的非线性度，0-22khz的频响范围都不比压电式传感器弱。
但是为什么现在在工业上对于一些旋转机械的振动监测中，还没有出现MEMS类的传感器呢？现有的一些大的加速度传感器厂商如本特利，CTC,PCB等都还没有出现MEMS威廉希尔官方网站 的传感器，这是由于这项威廉希尔官方网站 比较新潮还是说在某些细节上和压电式的传感器还有些差距导致的？ 另：从PDF上似乎无法看出该MEMS传感器在长时间的使用后性能下降的概述。 
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5个回答
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您好，您的问题已经提交给ADI相关专家，将邀请专家尽快回答您的问题。谢谢！
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您好。相比压电式传感器，MEMS传感器可以测量零频，可就是重力加速度，压电式传感器测量不到。MEMS传感器体积小，功耗低，成本也更低。可以有不同量程产品选择。在振动检测上的应用也逐渐增多。
请参考链接中的文章 http://www.analog.com/library/analogDialogue/archives/48-06/vibration_monitoring.html |
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st94wo 发表于 2019-3-5 18:10 那请问 现在MEMS传感器 目前 还无法超越压电式传感器的地方有哪些呢？ |
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您好。压电加计在带宽和分辨率（噪声）可能存在优势，但是MEMS加速度传感器同样有宽带和低噪声的传感器 |
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跟压电式的加速度传感器相比，其主要差距在频率带宽上。
一般的，常用的PCB压电型加速度传感器的带宽很少低于10k，不需要滤波；而这款传感器的真实带宽可能只有5k，其标称可以做到22k是在后端加了滤波器，修改了输出的响应曲线，具体可查阅http://www.analog.com/media/en/reference-design-documentation/reference-designs/CN0303.pdf 第三页的内容。 在进行试验级的测量中MEMS传感器显然不能满足测试需求，后端的滤波很水，完全改变了真实信号的性态。 MEMS想取代压电型传感器还有很长的一段路要走。 PCB也有MEMS型加速度传感器监测含有惯性加速度的振动，其使用带宽最高到3k也是这个原因。 |
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