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X 光光电子能谱仪 (XPS/ESCA)检测分析

2018-9-17 14:28:42 3809

0 XPS/ESCA原理就是藉由光电效应，当X光照射至样品内部时，原子内层的电子将被激发产生光电子，而只有靠近材料表面的光电子才能逃离被仪器测得。藉由分析此光电子，可得知表面元素组成种类，进而判断化学链结。 iST宜特检测XPS可进行化学态分析(Chemical State Analysis)、纵深分析(Depth Profile)，分析材料表面各种元素分布的化学链结，且不受样品导电性限制。 iST宜特高阶XPS – Quantera II扫描式X光光电子能谱仪，相较传统XPS最小仅能达到50微米的微区分析能力，宜特Quantera II最小可达7.5微米，更能针对样品表面更细微的结构进行化学态分析(Chemical State Analysis)、纵深分析(Depth Profile)，满足业界所需。应用范围：表面污染/变色之成份分析(Surface survey) : 样品表面100A以内的成份分析。表面化学组态分析 (Narrow scan) : 样品表面100A以内的元素化学组态键结分析。样品氧化状况(氧化层厚度及氧化态)分析。多层薄膜纵深分析 (Depth Profile) : 藉由Ar 离子溅蚀样品的表面，得到不同深度的元素信号之纵深分布。图谱分析(Mapping) : 分析样品区域元素信号，得到区域元素分布影像图。线扫描(Line scan): 分析样品直线上的元素信号，得到直线元素分布图。 0
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