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` 电感耦合等离子体质谱分析法是将电感耦等离子体(ICP)威廉希尔官方网站
和质谱(MS)威廉希尔官方网站
结合起来， 利用等离子体作为离子源，由接口将等离子体中被 电离了的试样离子引入质谱仪，用质谱仪对离子进行质量分析(按m／Z比值将不同的离子分开)并检测记录，根据所得质谱图进行定性定量分析。 具有以下几个优点： (1)灵敏度高：ICP-MS仪器的灵敏度一般高 出lCP．AES一到两个数量级，从而对多数元素能达 到更低的检出限： (2)动态线性范围宽： (3)可多元素同时分析； (4)分析速度快，单个样品一般在几秒钟内完成： (5)分析元素范围广，能分析元素周期表中除碳、氢、氧外的绝大多数元素． 正因为这些优点，使ICP-MS分析威廉希尔官方网站
广泛应 用于半导体工业用高纯材料的痕量杂质分析中． 主要进行的高纯材料分析 1. IC硅片表面杂质分析 2. 光伏多晶硅、单晶硅杂质分析 3. 三氯氢硅、四氯化硅： ICP．MS法测定高纯四氯化硅中们、V、cr、‘ Co、Ni、Cu、Pb、Zn、Mn九种金属元素． 4. 超净赢纯试剂分析：括氢氟酸、硝酸、硫酸、盐酸、氨水、双氧水等超纯无机试剂，和异丙醇(IP：A)、丙酮、四甲基氢氧化铵(TMAH)，N．甲基丙络烷酮 (NMP)、丙二醇甲基醚乙酯(PGMEA)等超纯有机试剂 5. 超纯水分析 6. 高纯气体分析 杭州柘大飞秒检测威廉希尔官方网站
有限公司立足浙江大学国家大学科技园光与电威廉希尔官方网站
开放实验室，利用飞秒检测威廉希尔官方网站
，通过观测分子、原子、电子、原子核等粒子飞秒级(一千万亿分之一秒)的振动、能级跃迁，开展分析工作。 
下面是飞秒测试中心的两台电感耦合等离子体质谱仪。 Agilent 7500a 1-2个元素300元，3个元素以上每个150元，按样品计每个2000元
校验计量：AgilentG8403A 费用另议 飞秒测试中心：何工 *** 联系地址：浙江省杭州市西湖区西溪路525号浙大科技园 `
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