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请教各位专业人士,单晶硅研磨怎样才能控制其TTV在3以下,研磨后在抛光站其TTV是否会增加,因为我们厂现在要求在研磨站TTV要小于3um,而抛光站TTV允许在5um以下。 |
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1个回答
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本帖最后由 gk320830 于 2015-3-9 21:11 编辑
请问专业人士,单晶硅研磨片TTV国标是多少?抛光片TTV又是多少?我们厂是做半导体的,现在本人面临着这个问题,现在我们的客服老是退货,以前我们的硅片TTV也现在这样甚至更差客服也没有退货。最近客服换了更精密的设备所以我们的硅片现在达不到客服的要求。所以要请求各位专业人士拉,怎样才能控制研磨片的TTV,还有抛光后的TTV会不会在原有的研磨片TTV再增加。 |
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