准分子真空紫外辐射在材料加工中的研究与应用

2010-5-6 08:56:18 2588

0 真空紫外辐射有高于共价键键能的光子能量,可在室温下激起化学反应。自上世纪80年代,基于稀有气体介质阻挡放电的准分子真空紫外光灯面世以来,真空紫外光源有了很大的发展,商业化的准分子真空紫外光灯已有上百mW/cm2的光能输出,品种也不断增加。准分子真空紫外光灯强大的激发化学反应的能力已在材料科学、化学反应工程、生物医学等方面开拓了许多新的研究课题,并得到日益增多的实际应用。近20年,每年关于准分子真空紫外辐射材料加工的研究报道急剧增加,本文将简要介绍DBD准分子紫外光源的特点及其在材料加工中的研究和应用,包括无机薄膜制备、半导体材料氧化、材料表面清洗、过渡金属化合物还原、高分子合成和聚合物表面改性。【关键词】：准分子;;真空紫外光;;光化学;;表面处理【DOI】：CNKI:SUN:HGXC.0.2010-03-015 【正文快照】：在电磁辐射波谱中,波长小于200 nm的辐射常被划作真空紫外,因为空气对这类紫外辐射有极强的吸收,它们只有在真空或特殊环境才能有效传播。真空紫外的这一特性阻碍了它的研究和开发利用,相对于其它波长的电磁辐射,真空紫外得到的实际应用还不多。波长比真空紫外短的X射线、长的全文下载 0
2010-5-6 08:56:18　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 如何通过准分子激光器解决加工过程难题 3500 • 分子泵获取高真空实验研究 15 • 分子泵获取高真空实验研究 20 • 真空紫外灯检测 2321 • 172nm准分子灯的特点、原理及应用 10968 • 什么是新型分子压电材料 1980 • PLD系列准分子激光器产品介绍 485 • 光刻机剂量控制器结构与深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法研究 21 • 分析仪器中的真空系统(分流分子泵应用) 796 • 角多路威廉希尔官方网站在准分子激光放大器中的应用 757