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【作者】:楚合群;陈剑鸣;吴光敏;周莹;
【来源】:《纳米科技》2010年01期 【摘要】:设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器(SCFBAF),并在ANSYS11.0中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究,实验结果表明,该SCFBAF工作在682.64MHz时带宽约为280kHz,1781.36MHz时约为320kHz,能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比传统滤波器,该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点,将在下一代无线通信射频前端系统中发挥重要作用。 【关键词】:纳米晶PZT薄膜;;体声波;;滤波器;;谐振器;;梅森模型 【DOI】:CNKI:SUN:NMKE.0.2010-01-007 【正文快照】:1前言随着纳米薄膜威廉希尔官方网站 的发展,如今采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法可以制备出品质满足体声波器件所需择优取向的PZT压电薄膜,通过对其晶向结构和形貌的表征表明,制备的PZT薄膜具有纳米尺度的晶体结构[1][2]。无线通讯威廉希尔官方网站 的进步和用户数量的增加,使系统的工作频率不断提高,信道数目 |
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