纳秒激光脉冲诱导硅表面微结构

2010-4-22 11:41:53 2251

0 【作者】：袁春华;李晓红;唐多昌;杨宏道; 【来源】：《强激光与粒子束》2010年02期【摘要】：利用Nd:YAG纳秒激光脉冲,在能量密度为1～10 J/cm2范围内辐照单晶硅,形成了表面锥形微结构,在SF6气氛和空气环境下均形成了锥形尖峰表面微结构。SF6气氛下产生的锥形尖峰顶端都有小球,部分锥形上还有二次尖峰形成,空气中纳秒激光诱导的锥形尖峰微结构顶端和边缘有由液滴固化形成的粒状物质,不同于利用准分子纳秒激光诱导的细长须状结构和飞秒激光辐照下产生的具有表面枝蔓状纳米结构的锥形微结构。实验结果表明,这种尖峰微结构的形成与辐照激光的波长和脉冲持续时间有关。对空气中微构造硅的辐射反射的初步研究表明,在500～2 400 nm范围内的光辐射反射率不高于20%。【关键词】：纳秒激光脉冲;;激光烧蚀;;表面微结构;;硅;;光辐射反射【DOI】：CNKI:SUN:QJGY.0.2010-02-040 【正文快照】：1996年F.Sanchez报道了利用脉冲激光在空气中诱导出硅表面柱型微结构[1],随后T.H.Her[2]和A.J.Pedraza[3]分别利用飞秒和纳秒激光脉冲在能量密度1~10 J/cm2(烧蚀机制)和SF6气体环境下形成了硅表面锥形尖峰微结构。到目前为止,利用脉冲激光诱导固体表面微结构仍是国内外研究人员游客，如果您要查看本帖隐藏内容请回复 0
2010-4-22 11:41:53　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 纳秒激光脉冲诱导硅表面微结构 21 • 激光光刻威廉希尔官方网站与多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构的介绍 7 • 利用SLM辅助纳秒激光威廉希尔官方网站制备铬薄膜上的杂化周期微结构 586 • 飞秒激光加工微结构的特点都有哪些呢？ 1076 • 利用飞秒激光的GHz脉冲串模式在硅衬底上构建二维表面结构 1119 • LED表面微结构威廉希尔官方网站的研究 8 • 激光加工纳秒激光、皮秒激光、飞秒激光，你分得清吗？ 1527 • 纳秒级陡脉冲电源的研制 94 • 高压纳秒脉冲发生器 1 • 调Q激光自触发斩波产生纳秒脉宽单脉冲激光 53