图形蓝宝石衬底GaN基发光二极管的研制

2010-4-22 11:32:16 2288

0 【作者】：张俊兵;林岳明;范玉佩;王书昶;曾祥华; 【来源】：《光电子.激光》2010年03期【摘要】：采用抗刻蚀性光刻胶作为掩膜,并利用光刻威廉希尔官方网站制作周期性结构,进行ICP干法刻蚀C面(0001)蓝宝石制作图形蓝宝石衬底(PSS);然后,在PSS上进行MOCVD制作GaN基发光二极管(LED)外延片;最终,进行芯片制造和测试。PSS的基本结构为圆孔,直径为3μm,间隔为2μm,深度为864 nm,呈六角形分布。与同批生长的普通蓝宝石衬底(CSS)GaN基LED芯片相比,PSS芯片的光强和光通量比CSS分别提高57.32%和28.33%(20 mA),并可减小芯片的反向漏电流,且未影响芯片的波长分布和电压特性。【关键词】：GaN基发光二极管(LED);;图形蓝宝石衬底(PSS);;光提取效率;;ICP 【DOI】：CNKI:SUN:GDZJ.0.2010-03-010 【正文快照】：1引言作为第4代固体照明光源的发光二极管(LED),具有节能、环保、长寿命、多色彩和小体积等诸多优点[1~3],但目前,GaN基LED内量子效率和光的提取效率较低,一定程度上限制了其应用。日常生产中,GaN基LED外延是在普通蓝宝石衬底(CSS,conventional sapphire substrate)上制备的[4] 全文下载 0
2010-4-22 11:32:16　　评论淘帖0 举报相关推荐 • 发光二极管型号有哪些_发光二极管型号大全 3394 • 发光二极管型号有哪些_发光二极管型号大全 3478 • 发光二极管 6602 • 什么是红外二极管？发光二极管？红外二极管与发光二极管的区别 1968 • 发光二极管型号有哪些_发光二极管型号大全 21499 • 发光二极管和红外发光二极管的查看 3523 • 发光二极管(LED),发光二极管(LED)是什么意思 4238 • 发光二极管 3346 • 有机发光二极管_什么是有机发光二极管 7864 • 文章分享：发光二极管 5181